[23a-A202-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [23a-A202-10] 稜線伝導構造ジョセフソン接合によるダイヤモンドSQUIDの作製

〇(B)橋本 裕太郎¹、若林 千幸¹、高橋 泰裕¹、蔭浦 泰資^1,2、高野 義彦³、立木 実³、大井 修一³、有沢 俊一³、川原田 洋^1,4 (1.早大、2.産総研、3.物材研、4.早大材研)

キーワード：ダイヤモンド、SQUID、ジョセフソン接合

超伝導ダイヤモンドを用いたジョセフソン接合(JJ)の微細化に際して、エッチングダメージの影響を受けないJJの構造として稜線伝導構造を新たに提案する。本構造は側壁に成長する結晶方向の異なるTc の低い層によって、稜線上に超伝導電流の流路を制限する構造である。本研究では稜線伝導を用いた線幅3 μmまでのJJと、このJJを用いた超高感度磁気センサである超伝導量子干渉計(SQUID)を作製しその動作を実証した。