[23a-A401-1~6] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[23a-A401-6] BHF処理を施したSrTiO₃基板に対する水リフトオフプロセスの検討

〇梶谷 亮介¹、川江 健¹ (1.金沢大理工)

キーワード：潮解性酸化物、リフトオフ、SrTiO3