[23a-B102-1~9] CS.9 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート、13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイスのコードシェア

[23a-B102-8] Siナノワイヤー /Siナノ粒子ポーラス膜の堆積とLiイオン電池負極への応用

〇益本 幸泰¹、木賀 海青¹、山田 輝也¹、花井 稜¹、内田 儀一郎^1,2 (1.名城大学理工、2.名城大エネセンター)

キーワード：スパッタリング、Liイオン電池