[23a-B102-1~9] CS.9 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート、13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイスのコードシェア

[23a-B102-9] Geナノ粒子薄膜の粒径制御とLiイオン電池負極への応用

〇花井 稜¹、山田 輝也¹、木賀 海青¹、益本 幸泰¹、内田 儀一郎^1,2 (1.名城大学理工、2.名城大エネセンター)

キーワード：スパッタリング、リチウムイオン電池