[23a-B202-1~12] 17.2 Graphene

[23a-B202-2] Fabrication of high-quality graphene / diamond heterostructures toward barrier height tunable power Schottky diodes.

〇(M2)Akiho Nakazuru¹, Takafumi Hatano¹, Hiroshi Ikuta¹, Kenji Ueda^1,2 (1.Nagoya Univ., 2.Waseda Univ.)

Keywords:graphene, plasma CVD

本研究では、マイクロ波プラズマCVD法を用いることで、高品質グラフェン/ダイヤモンド積層構造の作製を試みた。