[23a-B202-1~12] 17.2 グラフェン

[23a-B202-2] バリア高さ可変型パワーショットキーダイオード作製に向けた高品質グラフェン/ダイヤモンド積層構造の作製

〇(M2)中水流 秋穂¹、畑野 敬史¹、生田 博志¹、植田 研二^1,2 (1.名大院工、2.早大情シス)

キーワード：グラフェン、プラズマCVD法

本研究では、マイクロ波プラズマCVD法を用いることで、高品質グラフェン/ダイヤモンド積層構造の作製を試みた。