[23a-B202-1~12] 17.2 Graphene

[23a-B202-6] Low-pressure CVD of graphene on r-plane sapphire using Cu metal organic compound

〇Yasuhiro Fukunishi¹, Tomoaki Murahashi¹, Kazuki Mita¹, Yuta Yanase¹, Takahiro Maruyama¹, Sigeya Narituka¹ (1.Meijo Univ.)

Keywords:Graphene

我々は無触媒減圧CVDによるサファイア上のグラフェンの直接成長を研究し、c面サファイアよりもr面のサファイアの方が基板表面の触媒作用が強く、グラフェンを低温で高速成長できている。本研究では、成長温度のさらなる低温化のため、有機Cuを用いた減圧CVDによりr面サファイア上にグラフェンの直接成長を試みたので報告する。