[23a-B202-1~12] 17.2 グラフェン

[23a-B202-6] 有機Cuを用いたr面サファイア基板上でのグラフェン減圧CVD成長

〇福西 康寛¹、村橋 知明¹、三田 和輝¹、柳瀬 優太¹、丸山 隆浩¹、成塚 重弥¹ (1.名城大理工)

キーワード：グラフェン

我々は無触媒減圧CVDによるサファイア上のグラフェンの直接成長を研究し、c面サファイアよりもr面のサファイアの方が基板表面の触媒作用が強く、グラフェンを低温で高速成長できている。本研究では、成長温度のさらなる低温化のため、有機Cuを用いた減圧CVDによりr面サファイア上にグラフェンの直接成長を試みたので報告する。