[23a-C102-1~8] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[23a-C102-6] 有限要素法による平面型ダブルキャビティ熱電発電素子の膜厚最適化

〇柳澤 亮人¹、野村 政宏¹ (1.東大生研)

キーワード：熱電変換、シリコン、フォノン

平面型シリコン熱電発電素子の開発に向けて、デバイス層のシリコン膜厚に依存する熱伝導率の変化を用いて有限要素法によるデバイスシミュレーションを行った。デバイス層の熱伝導率が低減するほど発電量密度が高くなり、また熱伝導率の膜厚依存性が小さいほど発電量を最大化する膜厚が厚い領域に遷移する結果を得た。