[23a-C301-1~11] 3.6 Laser processing (formerly 3.7)

[23a-C301-1] Dependence of ablation rate on laser fluence for Ti:sapphire crystal

〇Yasuhiro Miyasaka¹, Hiromitsu Kiriyama¹ (1.QST)

Keywords:Ti:sapphire, Laser ablation, Sub-nanosecond laser

我々は寄生発振の抑制を目的として、チタンサファイア結晶に微細加工を施すことを目指している。ダメージ閾値に関する報告はこれまでに様々あるが、レーザー加工特性に関する報告は少ないのが現状である。本研究では波長532 nm、パルス幅330 psのレーザーを、鏡面研磨を施したチタンサファイア結晶に集光照射した。照射痕の深さを共焦点レーザー顕微鏡により測定することで、アブレーション率のフルーエンス依存性を明らかにした。