[23a-C301-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[23a-C301-2] Cuのフェムト秒レーザ還元描画における原料CuOナノ粒子サイズの影響

〇吉冨 恭平¹、溝尻 瑞枝¹ (1.長岡技術科学大学)

キーワード：Cuパターニング、フェムト秒レーザ直接描画、還元焼結

Cuの大気中レーザ描画での焼結特性の向上を目指し，CuOナノ粒子を用いたフェムト秒レーザ還元描画において，原料粒子のサイズが与える影響について検討した．異なる粒径のCuOナノ粒子ペーストを調製し，ガラス基板上へ描画した．パターン線幅は粒径減少により増加した．これは原料ナノ粒子の微細化による表面積増加により凝集したためと考えられる．また，微粒子の増加による焼結温度の低下の可能性もある．