[23a-C301-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[23a-C301-9] 強度変調レーザー加工穴の三次元形状の機械学習予測

〇吉富 大¹、高田 英行¹、小林 洋平²、奈良崎 愛子¹ (1.産総研、2.東大物性研)

キーワード：レーザー加工、機械学習、フェムト秒

機械学習を用いて、任意の強度変調パターンから加工痕の３D形状の予測を行うことを目的に、まずは単純な変調パターンのパラメータからの３Ｄ形状予測を試みた。超短パルスレーザーにランプ変調を行い、ランプの幅と中心値をパラメータとして可変し、ステンレスに照射した加工痕の３D形状を基に教師あり機械学習を行った。78個の検証用データの平均値として、0.23 μm（平均絶対誤差）の精度が得られた。