[23a-P06-1~28] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-1] TEGaと酸素ガスを用いた大気圧MOVPEによるβ-Ga₂O₃薄膜の結晶成長

〇浮田 駿¹、中村 海太¹、田尻 武義¹、内田 和男¹ (1.電通大)

キーワード：酸化ガリウム、有機金属気相成長