2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-1~28] 21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

2022年9月23日(金) 09:30 〜 11:30 P06 (体育館)

09:30 〜 11:30

[23a-P06-10] MOCVD法によるZnO/ZnO:Ga超格子の作製

〇(M2)乗松 賢1、吉田 俊幸1、Jie Lin2、藤田 恭久1,2 (1.島根大院自然科学、2.(株)SNCC)

キーワード:蛍光体

MOCVDを使用して蛍光体材料として単結晶サファイアa面基板上にアンドープZnO層とGaドープZnO層の順番で成長し、ZnO/ZnO:Ga超格子構造を作製した。