[23a-P06-1~28] 21 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"(Poster)

[23a-P06-10] ZnO/ZnO:Ga superlattices grown by MOCVD

〇(M2)Ken Norimatsu¹, Toshiyuki Yoshida¹, Lin Jie², Yasuhisa Fujita^1,2 (1.Shimane Univ., 2.SNCC)

Keywords:phosphor

MOCVDを使用して蛍光体材料として単結晶サファイアa面基板上にアンドープZnO層とGaドープZnO層の順番で成長し、ZnO/ZnO:Ga超格子構造を作製した。