[23a-P06-1~28] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-13] InドープMgO薄膜の発光特性

〇高坂 亘¹、小川 広太郎^2,1、松田 真樹¹、日下 皓也¹、太田 優一³、金子 健太郎⁴、山口 智広¹、本田 徹¹、藤田 静雄⁴、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大、2.オーク製作所、3.都産技研、4.京都大)

キーワード：酸化マグネシウム亜鉛、真空紫外線、カソードルミネッセンス

ミストCVD法により、InドープしたMgO薄膜をMgO基板上に成長した。CL測定によって、InドープMgO薄膜の発光特性を評価した結果を報告する。