[23a-P06-1~28] 21 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"(Poster)

[23a-P06-19] Effect of surface modification onto cyclo-olefin polymer substrates on the electrical properties of AZO thin films

〇(D)Tomoaki Oga¹, Hisashi Miyazaki², Satoru Kaneko^3,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech, 2.NDA MSE, 3.KISTEC)

Keywords:ZnO, polymer, surface modification

Al添加ZnO(AZO)薄膜は、ポリマー基板と組み合わせることによりフレキシブルデバイスへの応用が期待される。ポリマー基板は熱耐性が低く粗い表面のため、酸化物薄膜の物性制御には、表面修飾を用いた低温での核形成や成長方位の制御が有効であると考えられる。本研究では、ポリマー基板上における低抵抗AZO薄膜の作製を目的として、ポリマー基板への種々の表面修飾がAZO薄膜の結晶成長と電気特性に及ぼす影響について検討した。