[23a-P06-1~28] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-19] シクロオレフィンポリマー基板への表面修飾がAZO薄膜の電気特性に与える影響

〇(D)大賀 友瑛¹、宮﨑 尚²、金子 智^3,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.防大材料、3.神奈川産技総研)

キーワード：ZnO、ポリマー、表面修飾

Al添加ZnO(AZO)薄膜は、ポリマー基板と組み合わせることによりフレキシブルデバイスへの応用が期待される。ポリマー基板は熱耐性が低く粗い表面のため、酸化物薄膜の物性制御には、表面修飾を用いた低温での核形成や成長方位の制御が有効であると考えられる。本研究では、ポリマー基板上における低抵抗AZO薄膜の作製を目的として、ポリマー基板への種々の表面修飾がAZO薄膜の結晶成長と電気特性に及ぼす影響について検討した。