[23a-P06-1~28] 21 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"(Poster)

[23a-P06-22] Orientation Control of Cu₂O Thin Films Sputtered without Heating

〇(M2)Akari Yoshida¹, Shugo Abe¹, Keima Funagi¹, Yasuji Yamada¹, Shuhei Funaki¹ (1.Shimane Univ.)

Keywords:Cu2O, semiconductor, thin film

Cu₂Oはバンドギャップ2.1 eVの透明な直接遷移型半導体であり、太陽電池材料として注目されている。スパッタリング法では、膜へのCuやCuO等の異相の混入を防ぐため、高温での成膜と緻密な酸素流量の制御が必要である。我々はCu₂OにCuを混合した粉末ターゲットを用いることで、加熱及び、酸素制御を行うことなくCu₂O単相膜が得られることを見出した。本研究では、Cu添加量及びスパッタ圧力に伴う結晶相及び配向の変化を報告する。