[23a-P06-1~28] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-23] 水系前駆体溶液とエキシマ光を用いた酸化インジウム薄膜の低温形成と薄膜トランジスタの特性評価

〇駒井 伯成¹、大浦 紀頼¹、和田 英男¹、小山 政俊¹、佐々 誠彦¹、前元 利彦¹、竹添 法隆²、清水 昭宏²、伊藤 寛泰² (1.大阪工業大学、2.ウシオ電機株式会社)

キーワード：酸化インジウム、薄膜トランジスタ、紫外線

我々は酸化物薄膜の溶液プロセスに関する研究を進めており，紫外線のひとつであるエキシマ光（波長172 nm）を照射することにより，結合エネルギーが695 kJ/mol以下の分子を容易に切断できることに着目した．今回，水系の前駆体溶液を出発原料としてエキシマ光を用いて200 ℃以下のプロセスでIn₂O₃薄膜を形成し，構造解析および薄膜トランジスタ特性を評価したのでそれらの結果について報告する．