[23a-P06-1~28] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-25] ガリウムサブオキサイドを用いた高純度β-Ga₂O₃のエピタキシャル成長

〇ティユ クァントゥ¹、佐々木 公平¹、倉又 朗人¹ (1.ノベルクリスタル)

キーワード：Ga2O3、不純物、サブオキサイド