[23a-P06-1~28] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-26] 曲げ応力を印加したβ-Ga₂O₃(001)バルク基板の顕微ラマン評価

〇前田 一誠¹、伊佐治 楓¹、蓮池 紀幸¹、一色 俊之¹、小林 健二² (1.京工繊大、2.日立ハイテク)

キーワード：ラマン、酸化ガリウム、応力