[23a-P06-1~28] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-27] β-Ga₂O₃(001)バルク基板中の転位伝搬角度とエッチピット形状の関連性

〇伊佐治 颯¹、前田 一誠¹、小川 直也¹、高阪 諒¹、蓮池 紀幸¹、一色 俊之¹、小林 健二²、姚 永昭³、石川 由加里³ (1.京工繊大、2.日立ハイテク、3.ファインセラミックスセンター)

キーワード：転位、エッチピット、β型酸化ガリウム