[23a-P06-1~28] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

[23a-P06-6] 格子不整合サファイア基板上への単結晶ZnO膜のスパッタリング成膜: ZnONバッファー層の効果

〇三石 遼¹、矢高 功太郎¹、山下 尚人¹、奥村 賢直¹、鎌滝 晋礼¹、古閑 一憲^1,2、白谷 正治¹、板垣 奈穂¹ (1.九大シ情、2.自然科学研究機構)

キーワード：ZnO、スパッタリング、ヘテロエピタキシー