[23p-B101-1~13] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

△ [23p-B101-4] 水熱合成(NH₄)_xWO₃を用いた低消費エネルギーアセトンセンサ

〇(M1)成田 雄紀¹、田中 貴久¹、内田 建¹ (1.東大工)

キーワード：センサ、酸化物半導体

アセトンは糖尿病のバイオマーカーであり，WO₃ナノワイヤを用いてアセトンを検知する報告が存在する．しかし，高抵抗であるため高い消費電力を必要とし，デバイスの集積化が難しい．そこで，WO₃内にNH₄⁺が高濃度にドーピングされ低抵抗化された(NH₄)_xWO₃をデバイス材料に用いた．その結果，従来よりも抵抗は5桁ほど低くなり低電圧での自己ジュール加熱による昇温が可能になったため，低消費エネルギーでのアセトン100 ppmへの応答が確認された．