[23p-B101-1~13] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[23p-B101-8] コロイドSiO₂ナノ粒子多積層膜の作製と光学定数評価

〇大月 宥輝¹、沈 用球^1,2 (1.大阪府大院工、2.大阪公大院工)

キーワード：屈折率、ナノ粒子、エリプソメトリー

Layer-by-Layer (LbL法) により、可視光領域で透明で光散乱が無視できる SiO₂ナノ粒子の多積層膜を作製し、分光エリプソメトリにより光学定数や膜厚、膜質の評価を行った。 SiO₂ナノ粒子として安価で大量に入手可能な懸濁液用コロイド粒子を使用した結果、 膜厚が制御された波長オーダーの薄膜の作製が可能であり、 また、光学薄膜としては低屈折率膜用材料として有用であることが示された。