[23p-B102-1~8] 8.3 Plasma nanotechnology

[23p-B102-6] Measurement of strengths and fluctuations of electric fields in Ar plasma using a fine particle trapped by optical tweezers (2)

〇KUNIHIRO KAMATAKI¹, Toma Sato¹, Kentaro Tomita², Pan Yiming³, Daisuke Yamashita¹, Naoto Yamashita¹, Takamasa Okumura¹, Naho Itagaki¹, Kazunori Koga^1,4, Masaharu Shiratani¹ (1.Kyushu Univ. ISEE., 2.Hokkaido Univ., 3.Kyushu Univ. IGSES., 4.NINS)

Keywords:electric field measurement, optical tweezers, a fine partice

半導体デバイスの3次元集積化に伴い, プラズマプロセスの深い理解に基づいた超高精度ナノプロセスの創成が求められている．このためには，プラズマプロセス中のマイクロ・ナノメールオーダーの微小空間での電場空間分布の解明とその揺動成分の制御が重要である．そこで, 本研究では, 光ピンセット法により補足されたプラズマ中の微粒子をプローブとして, マイクロメートルオーダーの高い空間分解能を持つ電場強度及びその揺動成分の計測の開発を行なっている．