[23p-B200-1~5] 計測インフォマティクスの革新と応用

[23p-B200-3] 薄膜科学へのインフォマティクス活用～成膜から分光分析まで～

〇永村 直佳^1,2,3 (1.物材機構、2.JSTさきがけ、3.東京理科大)

キーワード：イメージング、分光、機械学習

出力として画像データが得られるタイプの計測技術は、定量的解析にあたり機械学習が有効である。薄膜計測技術に注目すると、成膜過程では反射高速電子回折パターン画像から表面構造を確認し、物性測定では欠陥や粒界、デバイス加工の影響などを各種顕微分光で評価できる。我々はこれらのイメージング計測に対して機械学習を援用し、高効率・高精度・高速な解析手法開発に取り組んでいる。本講演では最近の研究成果を紹介する。