[23p-B202-1~13] 17.2 Graphene

[23p-B202-2] Formation of 100-Layer Graphene by Automatic Transfer

〇Kazunori Kawata¹, Takako Nakamura¹, syunsuke kawaki¹, Yoshinori Koga¹, Masataka Hasegawa¹ (1.AirMembrane)

Keywords:graphene, Automatic Transfer

本研究ではグラフェンの光吸収率向上のため、CVD合成単層グラフェンの自動多数回転写積層による多層化技術の開発を行っている。転写法として熱剥離シート法およびPMMA法がある。熱剥離シート法はCVD合成基材である銅箔のエッチング除去以降は基本的にドライプロセスであるため自動化の実現可能性は高い。本研究では熱剥離シート法によるグラフェンの自動多数回転写積層技術の開発に取り組み、100層の積層を実現した。