[23p-B202-1~13] 17.2 Graphene

[23p-B202-4] Random stacked multi-layer graphene synthesized with chemical vapor deposition and its electric property

〇Daiyu Kondo¹, Naoki Fushimi¹, Masako Kataoka¹, Masaaki Norimatsu¹, Kenjiro Hayashi¹, Shintaro Sato¹ (1.Fujitsu)

Keywords:graphene, multi-layer, CVD

我々は化学気相成長法により光学素子として適用可能なランダム多層グラフェンの合成と材料評価を行ってきた。今回、光学センサとしての適用を目的とした素子加工プロセスを開発し、作製した素子の電気特性評価を行ったので詳細を報告する。