[23p-C200-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[23p-C200-1] 発光色純度改善に向けたトップダウンナノテンプレート上規則配列InGaN/GaNナノコラムにおける発光特性

〇工藤 駿介¹、吉村 賢哉¹、髙橋 昂司¹、山田 純平²、富樫 理恵^1,2、野村 一郎^1,2、岸野 克巳² (1.上智大理工、2.上智ナノテク)

キーワード：ナノコラム、発光色純度

InGaN/GaNナノコラムは格子歪の緩和効果、貫通転位のフィルタリング効果によって高効率化しうる。InGaN成長の下地ナノコラムトップ角度を小さくするよう制御することで発光スペクトルの純色性が改善されたため、平坦トップ形状を有するナノピラー形状をエッチングで作製し、ナノテンプレートとして選択成長を行い、異なるInGaN成長時間におけるPL発光特性のコラム周期依存性の検討を行なった。