[23p-C301-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[23p-C301-5] グリオキシル酸Co錯体インクからのフェムト秒レーザパルス誘起Co析出現象観測

〇山本 和輝¹、大石 知司²、溝尻 瑞枝¹ (1.長岡技科大、2.芝浦工大)

キーワード：グリオキシル酸金属錯体、フェムト秒レーザ直接描画、コバルト析出

フェムト秒レーザパルス誘起光熱還元における熱拡散抑制を目指し，グリオキシル酸Co錯体インクからのCoの析出特性を評価した．描画パターンの結晶構造は，描画速度8 mm/sではCo-richである一方，1 mm/sでは酸化物のピークが現れた．ポンプ・プローブ法を用いて0－550 psのレーザ照射部の透過率変化を観測した結果，レーザ照射後550 ps以降に酸化物の少ないCoが析出することが明らかとなった．