2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

牧原 克典

座長等

2022年3月24日(木) 13:30 〜 18:00 E103 (E103)

  • 一般セッション(口頭講演)
  • | 13 半導体
  • | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

呉 研(日大)、牧原 克典(名大)

2022年3月25日(金) 13:00 〜 17:15 D114 (D114)

  • 一般セッション(口頭講演)
  • | 15 結晶工学
  • | 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

有元 圭介(山梨大)、牧原 克典(名大)