■最小線幅300nmやグレイスケール露光を得意とするDWL66+、卓上型から最小線幅0.6μmの露光が可能なマスクレスアライナーMLAシリーズ、最小線幅15nmのNano Frazorシリーズ等のHeidelberg Instrumentsラインナップ