[22a-E102-1~8] FS.1 フォーカストセッション「AIエレクトロニクス」

[22a-E102-7] ニューラルネットワークポテンシャルを用いたH₂O含有アモルファスTa₂O₅中のCu拡散の研究

〇(M2)岡本 隼一¹、清水 康司¹、渡邉 聡¹ (1.東大院工)

キーワード：シナプスデバイス、原子スイッチ、ニューラルネットワークポテンシャル

次世代メモリ素子やシナプス素子の開発に向けて求められるアモルファスTa₂O₅（a-Ta₂O₅）中のCu拡散の微視的過程の解明を目的に、本研究では、ニューラルネットワークポテンシャル（NNP）を用い、バルクa-Ta₂O₅の密度や含有水分のCu拡散に対する影響を検討した。解析に用いることのできる予測精度のNNPを構築でき、構築したNNPによる分子動力学法計算によりバルクa-Ta₂O₅の密度やH₂Oの存在によりCuの拡散速度が変化することを示唆する結果を得た。