[22a-E103-1~8] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

[22a-E103-8] A highly sensitive thermometer fabricated by using DPP annealing

〇Tadashi Kawazoe¹, Takuya Kadowaki¹, Motoichi Ohtsu², Masahiko Sano¹, Takashi Mukai¹ (1.Nichia corp., 2.RODreP)

Keywords:Silicon, Dressed photon, thermometer

ドレスト・フォトン・フォノンアニールされたSi pn接合素子は大きな温度依存性を示す。この温度依存性を温度計に応用し、良好な結果を得たので報告する。