[22a-E103-1~8] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[22a-E103-8] DPPアニールで作製した高感度Si温度計

〇川添 忠¹、門脇 拓也¹、大津 元一²、佐野 雅彦¹、向井 孝志¹ (1.日亜化学、2.ドレスト光子研究起点)

キーワード：シリコン、ドレスト光子、温度計

ドレスト・フォトン・フォノンアニールされたSi pn接合素子は大きな温度依存性を示す。この温度依存性を温度計に応用し、良好な結果を得たので報告する。