[22a-E105-1~7] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[22a-E105-1] 配置制御石英ナノ構造による表面濡れ性の制御

〇(M2)竹内 聡¹、大堀 大介¹、石田 昌久²、田中 麻美²、遠藤 和彦³、寒川 誠二^1,4 (1.東北大流体研、2.長瀬産業、3.産総研、4.東北大AIMR)

キーワード：撥水性、石英ナノピラー構造、中性粒子ビームエッチング

親水表面は表面微細構造を用いることで撥水効果を発現できる。石英上にナノピラー(NP)構造を作製することで、100度を超える接触角を示した。しかし浅い石英NPでは摩耗に弱いことが懸念された。そこで本研究では、バイオテンプレート極限加工技術を用いて高い石英NP構造を作製し接触角へ与える影響を明らかにした。結果、石英NPを高くすることで接触角が増加し摩耗への耐久性も保ち、摩耗されても撥水性を保てることが示唆された。