[22a-E202-1~7] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22a-E202-7] AlGaN結晶のHVPE成長

〇藤倉 序章¹、今野 泰一郎¹、木村 健司¹ (1.サイオクス)

キーワード：HVPE、AlGaN

AlGaNのHVPE成長における気相反応の抑制を主眼に装置構成、HVPE成長条件を検討し、広いAl組成範囲にわたり平坦なAlGaN層を得ることに成功したので報告する。