[22a-E203-1~11] 17.3 層状物質

[22a-E203-1] 金極薄膜を用いた単層h-BNの可視化

〇服部 吉晃¹、谷口 尚²、渡邊 賢司²、北村 雅季¹ (1.神戸大院工、2.物材機構)

キーワード：六方晶ボロンナイトライド

h-BNは層状物質を用いた二次元複層化デバイスに最適な絶縁材料であると認識されている．一方で，絶縁体ゆえバンドギャップが大きく，可視光域で光学的に透明であるため，極薄膜の層状材料を簡便に可視化する手法として広く行われている，熱酸化シリコン基板の干渉効果を利用しても数層のh-BNを光学顕微鏡で認知し，利用するのは難しい．本研究では光が透過する10nm程度の薄いAu薄膜を熱酸化膜シリコン基板に蒸着することで単層h-BNのコントラストが向上することを示す．