[22a-E303-1~9] 3.15 Silicon photonics and integrated photonics

△ [22a-E303-4] Investigation of the Improvement of Coupling Efficiency of Si/SiON/SiO2 Double Clad Spot Size Converter by Changing SiON Refractive Index

〇(M1)Keita Yamaguchi¹, Yutaka Makihara¹, Yuduan Wang¹, Yoshitaka Oiso¹, Tomohiro Amemiya^1,2, Nobuhiko Nishiyama^1,2,3 (1.Tokyo Tech, 2.Tokyo Tech IIR, 3.PETRA)

Keywords:SSC, coupling efficiency, silicon photonics

これまでにシリコンフォトニクス光集積回路のスポットサイズコンバータ（SSC）において、Si/SiON/SiO2を用いたダブルクラッド構造を利用して0.5 dBの結合損失が報告されているが、限定的なSiON屈折率の範囲でしか検討がされていない。そこで今回、SiONの屈折率1.45～2.00の全ての範囲に着目し、SiONの屈折率などをパラメータとして、ダブルクラッド構造の結合効率を検討した。