[22a-E303-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

△ [22a-E303-4] Si/SiON/SiO₂ダブルクラッド型スポットサイズコンバータのSiON屈折率変化における結合効率の向上の検討

〇(M1)山口 圭太¹、槇原 豊¹、王 羽端¹、大礒 義孝¹、雨宮 智宏^1,2、西山 伸彦^1,2,3 (1.東工大工、2.東工大未来研、3.PETRA)

キーワード：スポットサイズコンバータ、結合効率、シリコンフォトニクス

これまでにシリコンフォトニクス光集積回路のスポットサイズコンバータ（SSC）において、Si/SiON/SiO2を用いたダブルクラッド構造を利用して0.5 dBの結合損失が報告されているが、限定的なSiON屈折率の範囲でしか検討がされていない。そこで今回、SiONの屈折率1.45～2.00の全ての範囲に着目し、SiONの屈折率などをパラメータとして、ダブルクラッド構造の結合効率を検討した。