[22a-E304-1~6] Imaging by using from visible light to X-rays - Exploring its versatility-

[22a-E304-6] High-resolution visualization of the buried multi-layer stack-film interfaces by inverse analysis of 4D-XPS measurement Big data

〇Satoshi Toyoda¹, Masashi Yoshimura², Hirosuke Sumida³, Susumu Mineoi³, Masatake Machida⁴, Akitaka Yoshigoe⁵, Akira Yoshikawa¹, Satoru Suzuki⁶, Kazushi Yokoyama⁶ (1.Tohoku Univ., 2.SPring-8 Service, 3.Mazda, 4.Scienta Omicron, 5.JAEA, 6.Univ. of Hyogo)

Keywords:buried interface, x-ray photoelectron spectroscopy, big data

面内分布を有した埋もれた多層膜界面反応の4次元時空間可視化について、その実現可能性を順逆解析双方向のシミュレーションにより検証できるようにするソフトウェア技術を開発した。64コアCPUを利用したマルチスレッド計算処理を実装し、１億本のXPSスペクトルのピークフィッティング処理を1日弱程度でできるようにしつつ、深さ方向解析ソフトウェアについてもマルチスレッド計算処理を実装して、800万の深さ方向分布を一週間程度で解析を可能にし、多層積層膜に埋もれた界面の高解像度化に成功した。