[22a-P05-1~11] 11 Superconductivity(Poster)

[22a-P05-11] Fabrication of conductive LaNiO₃ thin films at reduction atmosphere for REBCO-CC buffer layer

〇Shuhei Funaki¹, Mai Higuchi¹, Yasuji Yamada¹, Toshiya Doi² (1.Shimane Univ., 2.Kyoto Univ.)

Keywords:LaNiO3, conductive buffer, REBCO-CC

これまでAr雰囲気のスパッタリング法により，配向性かつ電気導電性を有するLaNiO₃の成膜に成功してきた．今後，金属基板上に成膜することを考えると，基板の酸化を抑制するための還元雰囲気での成膜が見込まれる．そこで本研究では，Ar+H₂混合ガス中でLaNiO₃を成膜し，その特性を評価した．XRDのピークが低くなったが，H₂を混合しても配向したLaNiO₃薄膜が得られた．