[22a-P05-1~11] 11 超伝導(ポスター)

[22a-P05-11] REBCO-CCの中間層に用いる導電性LaNiO₃薄膜の還元雰囲気成膜

〇舩木 修平¹、樋口 真依¹、山田 容士¹、土井 俊哉² (1.島根大自然、2.京大院エネ科)

キーワード：LaNiO3、導電性中間層、REBCO-CC

これまでAr雰囲気のスパッタリング法により，配向性かつ電気導電性を有するLaNiO₃の成膜に成功してきた．今後，金属基板上に成膜することを考えると，基板の酸化を抑制するための還元雰囲気での成膜が見込まれる．そこで本研究では，Ar+H₂混合ガス中でLaNiO₃を成膜し，その特性を評価した．XRDのピークが低くなったが，H₂を混合しても配向したLaNiO₃薄膜が得られた．