[22a-P05-1~11] 11 Superconductivity(Poster)

[22a-P05-8] Investigation on thin film fabrication process of La(O,F)Bi(S,Se)₂

〇Koki Kaburaki¹, Ryoki Fuchigami¹, Honami Nitta¹, Mitsufumi Saito¹ (1.Tokyo Metropolitan Univ.)

Keywords:superconductivity, thin film

R(O,F)BiCh₂は層状機能性物質であり，超電導材料・熱電変換材料として注目され，研究が進められている．本研究で着目するLa(O,F)Bi(S,Se)₂系材料は二次元伝導層であるBi(S,Se)2層に強い内部電界を有するため，大きなスピン軌道相互作用が生ずると予想されている．我々はこの機能性層状物質のデバイス応用を念頭に，La(O,F)Bi(S,Se)₂の薄膜化加工プロセス確立を目指し，各種エッチング法による加工プロセスを検討した．