[22a-P05-1~11] 11 超伝導(ポスター)

[22a-P05-8] La(O,F)Bi(S,Se)₂における薄膜化加工プロセスの検討

〇鏑木 浩暉¹、淵上 良輝¹、仁田 帆南¹、斉藤 光史¹ (1.都立大システムデザイン)

キーワード：超伝導、薄膜

R(O,F)BiCh₂は層状機能性物質であり，超電導材料・熱電変換材料として注目され，研究が進められている．本研究で着目するLa(O,F)Bi(S,Se)₂系材料は二次元伝導層であるBi(S,Se)2層に強い内部電界を有するため，大きなスピン軌道相互作用が生ずると予想されている．我々はこの機能性層状物質のデバイス応用を念頭に，La(O,F)Bi(S,Se)₂の薄膜化加工プロセス確立を目指し，各種エッチング法による加工プロセスを検討した．