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[22a-P05-9] 高密度な直線的BaHfO3ナノロッドを目指したYBCO薄膜作製プロセスの開発
キーワード:YBCO超伝導体
YBCOは超伝導特性が磁場中で低下するという欠点があり、この問題を解決するため超伝導体内に意図的に人工ピンニングセンターを導入することで量子化磁束の運動を抑えることで超伝導特性の低下を抑制することができる。BHOをYBCO に添加して成膜した場合、基板温度が低い場合、ナノロッドのサイズが小さくなり、多量のナノロッドが形成されるが途中でナノロッドが傾く。一方、基板温度が高温の場合、ナノロッドのサイズが大きくなり量が少なくなるが、まっすぐ成長する。上記のナノロッドの性質を利用して、本研究では細くて真っ直ぐなナノロッドをYBCO膜中に成長させることを目的とした。そこで、最初に低い基板温度で多くのナノロッドを生成し、次に高い基板温度でまっすぐなナノロッドを最初にできたナノロッドの上に成長させる検討を行った。