[22p-D316-1~16] 13.8 Optical properties and light-emitting devices

[22p-D316-12] Operating characteristics for photonic crystal surface-emitting quantum cascade lasers with low symmetric pillar

〇Shinji Saito¹, Kei Kaneko¹, Rei Hashimoto¹, Tsutomu Kakuno¹, Hirotaka Tanimura², Shigeyuki takagi², Yuanzhao Yao³, Naoki Ikeda³, Yoshimasa Sugimoto³, Takaaki Mano³, Takashi Kuroda³, Kazuaki Sakoda³ (1.Toshiba Corp., 2.Tokyo Inst. Univ., 3.NIMS)

Keywords:Quantum Cascade Laser, Photonic Crystal, Semiconductor Laser

面発光型半導体レーザはアレイ化が容易で、近年センシング用途での活用が飛躍的に伸びている。さらに端面発光型に比べ、歩留まりを低下させる劈開工程がない、検査をウエハ上で行えるなど、生産性に優れている。量子カスケードレーザ（QCL）はその発光原理からTM偏光であるため、垂直共振器型の面発光は困難であるもの、フォトニック結晶（PC）を用いることで面発光型レーザが実現できる。前回の円柱型PCに引き続き、低対称性のPCを有する量子カスケードレーザの試作を行い、発振特性を評価、解析を行ったので報告する。