[22p-D316-1~16] 13.8 光物性・発光デバイス

[22p-D316-12] 低対称ピラーを有するフォトニック結晶面発光型量子カスケードレーザの発振特性

〇斎藤 真司¹、金子 桂¹、橋本 玲¹、角野 努¹、谷村 景貴²、高木 茂行²、姚 遠昭³、池田 直樹³、杉本 喜正³、間野 高明³、黒田 隆³、迫田 和彰³ (1.東芝生産技術センター、2.東京工科大、3.物材研)

キーワード：量子カスケードレーザー、フォトニック結晶、半導体レーザー

面発光型半導体レーザはアレイ化が容易で、近年センシング用途での活用が飛躍的に伸びている。さらに端面発光型に比べ、歩留まりを低下させる劈開工程がない、検査をウエハ上で行えるなど、生産性に優れている。量子カスケードレーザ（QCL）はその発光原理からTM偏光であるため、垂直共振器型の面発光は困難であるもの、フォトニック結晶（PC）を用いることで面発光型レーザが実現できる。前回の円柱型PCに引き続き、低対称性のPCを有する量子カスケードレーザの試作を行い、発振特性を評価、解析を行ったので報告する。